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SCn系列温控循环机为水冷式单通道高精度温控设备,采用PID算法与电子膨胀阀组合控制,出口温度稳定性可达±0.1℃。设备配备高低温、流量、过载、水位等多重保护功能,旨在提升运行可靠性。 全系标配集液盘设计,有助于维持使用环境洁净,适配对循环液有严格要求的洁净场景。产品提供常温型(5~35℃)、低温型(-20℃、-40℃)及高低温型(高温65℃、95℃)等多种机型,循环介质可兼容纯净水、电子氟化液、防冻液等,适用于半导体前后道工艺设备。
SCn系列温控循环机为水冷式单通道高精度温控设备,采用PID算法与电子膨胀阀组合控制,出口温度稳定性可达±0.1℃。设备配备高低温、流量、过载、水位等多重保护功能,旨在提升运行可靠性。全系标配集液盘设计,有助于维持使用环境洁净,适配对循环液有严格要求的洁净场景。产品提供常温型(5~35℃)、低温型(-20℃、-40℃)及高低温型(高温65℃、95℃)等多种机型,循环介质可兼容纯净水、电子氟化液、防冻液等,适用于半导体前后道工艺设备。