SCd系列温控循环机为水冷式双通道高精度制冷、加热设备,采用双温双控技术,可同时为两个不同温控点提供独立温度与流量输出。设备配备PID控制算法与电子膨胀阀,出口温度稳定性可达±0.1℃。
该系列集成高低温、流量、过载、水位等多重安全保护功能,有助于提升设备运行的稳定性。全系标配集液盘结构,适用于高标准洁净环境,可满足对循环介质有严格要求的应用场景。
SCd系列提供常温型(5~35℃)、低温型(-20℃、-40℃)及高低温型(高温65℃、95℃)等多种机型,循环介质兼容纯净水、电子氟化液、防冻液等,广泛应用于半导体前后道工艺设备。
SCd系列温控循环机为水冷式双通道高精度制冷、加热设备,采用双温双控技术,可同时为两个不同温控点提供独立温度与流量输出。设备配备PID控制算法与电子膨胀阀,出口温度稳定性可达±0.1℃。
该系列集成高低温、流量、过载、水位等多重安全保护功能,有助于提升设备运行的稳定性。全系标配集液盘结构,适用于高标准洁净环境,可满足对循环介质有严格要求的应用场景。
SCd系列提供常温型(5~35℃)、低温型(-20℃、-40℃)及高低温型(高温65℃、95℃)等多种机型,循环介质兼容纯净水、电子氟化液、防冻液等,广泛应用于半导体前后道工艺设备。
