SCt系列温控循环机为水冷式三通道高精度制冷、加热设备,采用三温三控技术,可同时为三个不同温控点提供独立的温度与流量输出,支持根据实际使用需求灵活配置各通道参数。
设备采用PID控制算法与电子膨胀阀,出口温度稳定性可达±0.1℃。集成高低温、流量、过载、水位等多重安全保护功能,有助于提升设备运行的可靠性。全系标配集液盘结构,适用于高标准洁净环境,满足对循环液有严格要求的应用场合。
该系列产品提供常温型(5~35℃)、低温型(-20℃)及高低温型(高温65℃、95℃)等多种机型,循环介质兼容纯净水、电子氟化液、防冻液等,广泛应用于半导体前后道工艺设备中。
SCt系列温控循环机为水冷式三通道高精度制冷、加热设备,采用三温三控技术,可同时为三个不同温控点提供独立的温度与流量输出,支持根据实际使用需求灵活配置各通道参数。
设备采用PID控制算法与电子膨胀阀,出口温度稳定性可达±0.1℃。集成高低温、流量、过载、水位等多重安全保护功能,有助于提升设备运行的可靠性。全系标配集液盘结构,适用于高标准洁净环境,满足对循环液有严格要求的应用场合。
该系列产品提供常温型(5~35℃)、低温型(-20℃)及高低温型(高温65℃、95℃)等多种机型,循环介质兼容纯净水、电子氟化液、防冻液等,广泛应用于半导体前后道工艺设备中。
