SCs系列单通道高精度水冷式冷水机采用PID控制算法与电子膨胀阀组合调控，出水口温度稳定性可达±0.1℃。设备集成多重安全保护功能，有助于提升运行可靠性。

全系标配集液盘结构，适用于高标准洁净环境，满足对循环液有严格要求的应用场景。该系列产品可扩展低温至-20℃，支持以水或乙二醇水溶液作为循环介质（不适用于电子氟化液），广泛应用于半导体前后道工艺设备。