SCr系列半导体专用双通道冷水机采用单系统双温双控技术,可为划片机、减薄机、研磨机等工艺设备提供双路独立温控支持。设备通过双通道差异化设计,实现主轴闭环恒温控制(±0.1℃)与切割水循环回收(±0.5℃)同步运行。
该产品配备切割水过滤回收系统,支持自动补水,有助于实现资源节约。结构设计兼顾洁净间空间利用率,可选一拖多配置,全系标配集液盘结构,适用于高洁净环境要求。
SCr系列专为半导体切割、研磨等工艺设计,满足洁净环境与节能运行需求。
SCr系列半导体专用双通道冷水机采用单系统双温双控技术,可为划片机、减薄机、研磨机等工艺设备提供双路独立温控支持。设备通过双通道差异化设计,实现主轴闭环恒温控制(±0.1℃)与切割水循环回收(±0.5℃)同步运行。
该产品配备切割水过滤回收系统,支持自动补水,有助于实现资源节约。结构设计兼顾洁净间空间利用率,可选一拖多配置,全系标配集液盘结构,适用于高洁净环境要求。
SCr系列专为半导体切割、研磨等工艺设计,满足洁净环境与节能运行需求。
