SCe系列水-水热交换式温控循环机采用板式换热器结构,通过厂务冷却水(PCW)与工艺循环介质进行直接热交换,实现温度控制。该换热方式具有结构紧凑、运行噪声较低等特点。
产品可根据不同应用场景进行定制化配置,适用于半导体制程设备、电子元器件温控、通信系统部件温度管理及检测设备温控等场合。
SCe系列水-水热交换式温控循环机采用板式换热器结构,通过厂务冷却水(PCW)与工艺循环介质进行直接热交换,实现温度控制。该换热方式具有结构紧凑、运行噪声较低等特点。
产品可根据不同应用场景进行定制化配置,适用于半导体制程设备、电子元器件温控、通信系统部件温度管理及检测设备温控等场合。
