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同洲维普新品SCr系列温控系统
来源: | 作者:同洲维普 | 发布时间: 2024-08-01 | 131 次浏览 | 分享到:
随着半导体行业的迅猛发展,材料制备过程中的温度控制显得尤为重要。同洲维普公司紧跟行业趋势,精心研发并推出了全新的SCr系列温控系统。

SCr系列温控系统,作为同洲维普公司的创新之作,专为半导体行业材料制备配套设备设计。它具有产品集成、环境保护、节能减排等多重功能,旨在为用户提供高效、稳定、环保的温度控制解决方案。

双温双控、结构紧凑
该系统采用一机多用的设计理念,可同时满足设备主轴和切割水对不同温度水源的需求。更吸引人的是,SCr系列具备很好的切割水回收、处理和再循环能力。通过内置的3级过滤系统,再处理后的供水颗粒度可达到1μm的精度,确保了半导体材料加工过程中的高精度要求。
SCr可回收型双温机采用双温双控技术,可实现两通道异温输出,为半导体材料的加工提供了更加灵活和精确的温度控制。同时,紧凑的结构设计将主轴水、切削水、回收及水处理等功能集于一体,大大节省了设备空间,使生产线更加整洁、高效。
节能减排、环境友好
在环保方面,SCr系列温控系统同样表现出色。切削水的完全回收和再循环,无需额外排放水,有效降低了运营成本,同时也符合节能减排的环保要求。此外,系统还具备无污水排放的特点,为保护环境贡献了力量。
精准控温、风水一体
在性能方面,SCr系列温控系统主轴水的控温精度达到了±0.1℃,而切削水的温度控制精度则达到了±0.5℃,为半导体材料的加工提供了稳定的温度环境。风冷散热和水冷散热形式兼容的设计使得系统具备了更广泛的适用性和更高的制冷效率,制冷量范围可达3~10kW。
可扩展高、使用安全
此外,SCr系列温控系统还具备高度的可扩展性。通过PLC控制器,用户可以根据自身需求定制通讯、运行状态、报警信息等功能,方便系统集成和监控。同时,系统还具备参数监测、数据曲线及报警保护功能,确保设备在异常情况下能够及时响应并保护设备和人员安全。
我们坚信,同洲维普新品SCr系列温控系统以其绿色智能、高效稳定的特点,将成为半导体行业材料制备过程中的得力助手,助力企业实现更高质量的产品和更环保的生产方式。